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Planar HDX龙门式碳化硅基体超高精度气浮直线平台
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Planar HDX龙门式碳化硅基体超高精度气浮直线平台 Planar HDX利用碳化硅陶瓷作为气浮导轨基体质料,接纳线性放大器和无铁芯直线机电作为驱动,高精度光栅尺或激光干涉仪作为反应体系,配有自动隔震体系,在先辈的初级掌握算法掌握下,可以供给第一流别的静态机能和超精细定位精度。
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