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超精细气浮转台
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超精细气浮转台 气浮转台的构造颠末出格优化,具有大的氛围承载外表,供给极高的刚度和负载才能,不只具有极小的轴向和径向运动偏差,还有最小化的角摆偏差。平台外表的综合运动偏差较着优于其他构造范例的扭转平台。气浮转台由无齿槽无刷力矩电机间接驱动,刚性耦合,没有柔性环节,没有齿槽力矩惹起的力矩颠簸,具有极高的带宽和超光滑的速度轨迹,出格适用于对低速稳定性要求极高的使用。转台的反应体系由高精度圆光栅组成,经由过程电子细分手艺,可以实现0.007角秒(arc sec)的机器分辨率(Minimum incremental step)和0.12角秒的定位精度(Accuracy,follow ISO230-2)。
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