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超高精度玻璃陶瓷基体衍射光栅尺
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超高精度玻璃陶瓷基体衍射光栅尺 LIP敞开式直线光栅尺的特性是丈量步距十分小、精度和反复精度十分高。它接纳干预扫描法并接纳DIADUR相位光栅作为丈量基准(LIP 281:OPTODUR相位光栅)。
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