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超精细直线气浮平台 气浮直线平台由直线机电间接驱动,接纳盒式全封锁型气浮导轨,在导轨的四个标的目的都供给预载力。这类结构设计共同微米级的气隙供给优良的导轨刚度,使平台能够接受重载或偏疼负载。气浮轴承有极佳的偏差均化效应,该特性使气浮平台供给最好的直线度和平面度,以及俯仰、滚摆和偏航。
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