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高精度不锈钢圆光栅
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高精度不锈钢圆光栅 REXM的截面积较大,可以削减除了偏疼以外的所有安装偏差,而偏疼则可利用一个DSi(双旌旗灯号接口盒)和两个读数头轻松改正,其柱面上间接刻有20 µm栅距的增量式刻线,并具有IN-TRAC™光学参考零位。REXM的整体安装精度为±1角秒,zero连接偏差,并且还具有优良的反复精度。它供给多种尺寸(直径从52 mm到417 mm)和刻线数,所有这些都具有内径大、安装灵敏的特性。非打仗情势消弭了传统封闭式光栅固有的反向间隙、改变偏差(扭变)及其他机器滞后偏差。
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